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由該所承擔(dān)的國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目“大型高精度衍射光柵刻劃系統(tǒng)的研制”11日通過(guò)驗(yàn)收，并制造出世界大面積中階梯光柵。這標(biāo)志著我國(guó)大面積高精度光柵制造中的相關(guān)技術(shù)達(dá)到國(guó)際水平，結(jié)束了在高精度大尺寸光柵制造領(lǐng)域受制于人的局面。
衍射光柵是一種納米精度周期性微結(jié)構(gòu)的精密光學(xué)元件，在光譜學(xué)、天文學(xué)、激光器、光通訊、信息存儲(chǔ)等領(lǐng)域中有重要應(yīng)用。光柵面積大可獲得高集光率和分辨本領(lǐng)，精度高可獲得更好的信噪比，但制造出大而精的光柵是世界性難題。
光柵刻劃?rùn)C(jī)是制作光柵的母機(jī)，因其部件的加工裝調(diào)精度難，運(yùn)行保障環(huán)境要求高，被譽(yù)為“精密機(jī)械之王”，本項(xiàng)目研制的光柵刻劃?rùn)C(jī)，幾乎所有關(guān)鍵部件都沖擊世界極限水平。研制期間，科研人員突破了精密機(jī)械加工、精密光學(xué)加工、精密檢測(cè)、高精度微位移控制等一系列關(guān)鍵技術(shù)，并研制出面積達(dá)400毫米×500毫米、精度為10納米的光柵，這也是目前世界上面積大的中階梯光柵。
此前，只有美國(guó)能夠制作300毫米以上中階梯光柵，我國(guó)的中階梯光柵制造能力不足300毫米，精度也達(dá)不到10納米精度水平，戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度大尺寸光柵受到國(guó)外嚴(yán)格限制。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、中科院長(zhǎng)春光機(jī)所研究員唐玉國(guó)表示，大型高精度光柵刻劃系統(tǒng)以及大面積中階梯光柵的研制成功，能幫助我國(guó)光譜儀器行業(yè)擺脫“有器無(wú)心”局面，改變我國(guó)光譜儀器產(chǎn)業(yè)處于行業(yè)低端現(xiàn)狀。
衍射光柵是一種納米精度周期性微結(jié)構(gòu)的精密光學(xué)元件，在光譜學(xué)、天文學(xué)、激光器、光通訊、信息存儲(chǔ)等領(lǐng)域中有重要應(yīng)用。光柵面積大可獲得高集光率和分辨本領(lǐng)，精度高可獲得更好的信噪比，但制造出大而精的光柵是世界性難題。
光柵刻劃?rùn)C(jī)是制作光柵的母機(jī)，因其部件的加工裝調(diào)精度難，運(yùn)行保障環(huán)境要求高，被譽(yù)為“精密機(jī)械之王”，本項(xiàng)目研制的光柵刻劃?rùn)C(jī)，幾乎所有關(guān)鍵部件都沖擊世界極限水平。研制期間，科研人員突破了精密機(jī)械加工、精密光學(xué)加工、精密檢測(cè)、高精度微位移控制等一系列關(guān)鍵技術(shù)，并研制出面積達(dá)400毫米×500毫米、精度為10納米的光柵，這也是目前世界上面積大的中階梯光柵。
此前，只有美國(guó)能夠制作300毫米以上中階梯光柵，我國(guó)的中階梯光柵制造能力不足300毫米，精度也達(dá)不到10納米精度水平，戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度大尺寸光柵受到國(guó)外嚴(yán)格限制。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、中科院長(zhǎng)春光機(jī)所研究員唐玉國(guó)表示，大型高精度光柵刻劃系統(tǒng)以及大面積中階梯光柵的研制成功，能幫助我國(guó)光譜儀器行業(yè)擺脫“有器無(wú)心”局面，改變我國(guó)光譜儀器產(chǎn)業(yè)處于行業(yè)低端現(xiàn)狀。